北方微電子成立于2001年,是一家專業(yè)從事高端工藝設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)的本土微電子裝備制造企業(yè)。自成立以來,北方微電子肩負發(fā)展民族產(chǎn)業(yè)之重任,以推進高端微電子裝備國產(chǎn)化為使命,通過實施國家科技重大專項,實現(xiàn)了我國高端微電子裝備的技術(shù)提升,在多個技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破。
公司通過十余年的發(fā)展,在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域形成了Etch、PVD和CVD三大類技術(shù),十余個系列,三十余個型號的產(chǎn)品。其中IC領(lǐng)域包括8/12英寸高密度等離子硅刻蝕機,12英寸銅互連和硬掩模PVD設(shè)備;LED領(lǐng)域包括PSS和GaN ICP刻蝕機、ITO sputter、DBR/ODR sputter、AlN sputter等,MEMS和先進封裝領(lǐng)域包括深硅刻蝕機、通用型刻蝕機、TSV\UMB\RDL封裝用PVD、通用型PVD設(shè)備和硅外延設(shè)備等。
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