北方微電子成立于2001年,是一家專業(yè)從事高端工藝設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)的本土微電子裝備制造企業(yè)。自成立以來,北方微電子肩負(fù)發(fā)展民族產(chǎn)業(yè)之重任,以推進(jìn)高端微電子裝備國(guó)產(chǎn)化為使命,通過實(shí)施國(guó)家科技重大專項(xiàng),實(shí)現(xiàn)了我國(guó)高端微電子裝備的技術(shù)提升,在多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破。
公司通過十余年的發(fā)展,在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域形成了Etch、PVD和CVD三大類技術(shù),十余個(gè)系列,三十余個(gè)型號(hào)的產(chǎn)品。其中IC領(lǐng)域包括8/12英寸高密度等離子硅刻蝕機(jī),12英寸銅互連和硬掩模PVD設(shè)備;LED領(lǐng)域包括PSS和GaN ICP刻蝕機(jī)、ITO sputter、DBR/ODR sputter、AlN sputter等,MEMS和先進(jìn)封裝領(lǐng)域包括深硅刻蝕機(jī)、通用型刻蝕機(jī)、TSV\UMB\RDL封裝用PVD、通用型PVD設(shè)備和硅外延設(shè)備等。
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